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半导体设备测量与监测
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半导体设备测量与监测的概况 -
高精度和非常敏感的设备，如显微镜、检测设备、成像系统和抛光机等通常使用主动或被动隔离平台。
在某些情况下，这不足以保持足够低的振动水平。可能是局部/ 全局共振降低了隔离系统的性能，因为隔离系统的刚性不够，或者因为扰动源位于被隔离部件上。
我们的工作
➤ 用于振动测量的智能传感器
➤ 振动问题分析
➤ 被动阻尼装置
➤ 有源阻尼装置
➤ 定制设计执行器和控制器，以完美地集成到客户的机器或过程中（机械布局和接口、环境等）
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半导体设备测量与监测的优势 +
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半导体设备测量与监测的性能 +
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半导体设备测量与监测的指标 +
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