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ARIS-MD 模块式主动隔振器
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ARIS-MD 模块式主动隔振器的概况 -
轻巧紧凑的模块式主动隔振系统，可抵消敏感设备的有害振动。简化的设计使其可以无缝地成为工作站环境的一部分，其直接的组成无需后续调整。
应用领域：
➤ 电子显微镜（SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam）
➤ 半导体测试设备（光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM）
➤ 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM
➤ X-Ray、CT、MPI
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ARIS-MD 模块式主动隔振器的优势 +
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ARIS-MD 模块式主动隔振器的性能 +
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